최첨단 반도체 생산제조 팹에서는 CMP 공정단계에서 매년 1,500,000 리터 이상의 혼합 산화물 슬러리를 사용합니다.

폴리셔에 쓰이는 순수한 물과 결합된 슬러리는 100,000,000 리터 이상의 산화물 슬러리 폐수를 발생시키고, 이 폐수를 최대한 줄이는 것이 환경을 지켜야 하는 우리의 과제였습니다.

이에 2000년 부터 2009년까지 9년간의 연구 끝에 유럽에서 폐산화물 슬러리를 폐기하지 않고 재생하여 재사용할 수 있게 하는 획기적인 장비개발에 성공