Monte Carlo Simulation Software

Beam Scattering 및 공정과정 중 Beam Blur 현상 예측 및 수치화

• Point Spread Function (PSF) 은 근접효과보정 (Proximity Effect Correction), 공정효과보정(Process Effect Correction) 또는 e-beam 시뮬레이션의 필수 입력데이터로써, 투사된 빔으로부터의 거리함수계산을 통해 발생된 에너지를 정의하는 기능입니다. 프로세스 효과 및 보정 품질은 전적으로 PSF 의 기술에 따라 달라 집니다.
• TRACER 는 이러한 빔의 분산, 빔의 사이즈 (또는 Beam Blur현상) 와 공정효과를 예측하고 수치화 하는 소프트웨어 입니다.
• TRACER 는 매개변수 값 (데이터, stack, 가속전압) 에 의해 공통적으로 나타나는 결과값을 수치화하고 표본화하는 프로그램으로 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다.
• MC (Monte Carlo) 시뮬레이션, r-z 시뮬레이션 결과 (다른 Resist 두께에 전파되는 에너지 값) 를 시각, 표본화하여 1D PEC 에 사용할 수 있는 PSF를 추출해 내는 소프트웨어입니다.
• 본 실험 및 프로세스효과 측정에 필수적인 도구인 Tracer 는 Layout BEAMER 와 함께 제공됩니다.